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    臺式X射線源 工作波長20nm 脈寬7ns 重復頻率10 Hz  2021-09-01

    激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。

    產品型號
    縱向   橫向
    型號 貨號 操作 名稱
    EUV-B-XRAY B80020087 20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns   [PDF] 工作波長 20nm;脈寬 7 ns;脈沖能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);轉換效率 0.45% ;等離子形狀 ? ~ 300 μm;重復頻率 10 Hz 8-10 weeks
    產品特點

    ● 低殘留

    ● 高EUV能量(3.5 MJ)

    ● 最低耗氣量(氣體脈沖持續時間:<1 ms)

    ● 簡單目標氣體交換

    ● 桌面系統

    技術參數

    參數

    單位

    指標

    產品編號


    EUV-B-XRAY

    工作波長

    nm

    20nm

    脈寬

    ns

    7

    脈沖能量(Xe

    mJ

    3.5(4π sr, 2% BW)

    轉換效率

    %

    0.45

    等離子形狀

    NA

    ? ~ 300 μm

    重復頻率

    HZ

    10


    測試數據展示:

    tc.pngtc_副本.png


    tc1.png

    產品應用

    ● 計量:反射測量、吸收

    ● 光譜學(nexafs)

    ● 光學/傳感器測試

    ● EUV損壞調查

    ● 材料相互作用基礎研究

    ● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)

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